FIRST 最先端研究開発支援プログラム 原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡の開発とその応用

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活動報告

プロジェクト進捗状況

2013.1.20

平成24年6月に電子顕微鏡の主要部分の組立を完了しました。
電子ビームを放出し、電子銃から検出用カメラまで到達させました。
現在、加速電圧の1.2 MV化や、収差補正器搭載に向けた各種基本性能の確認作業に取り組んでいます。

  • 正面から見た電子顕微鏡

  • 電子顕微鏡の鏡筒

  • 超高安定な1.2MVの高電圧および制御信号を発生させて電子銃に供給するための高圧タンク群

  • 電子顕微鏡の操作卓とディスプレイ

2012.3.23

吊下げ架台搬入

2011.9.10

原子分解能ホログラフィ電子顕微鏡で原子レベルの観察を行うには外部の振動を徹底的に遮断する必要があります。そのために、建物の床にダンパーを介して吊下げ架台を設置し、その上に顕微鏡本体を載せます。その吊下げ架台の搬入作業の様子です。

ケーブルの高電圧印加試験

2011.10.28

高電圧ケーブルは電源から超高電圧を電子顕微鏡に送るためのもので、今回のケーブルは120万ボルトの電圧を印加します。耐電圧を確認するため非常に大がかりな検査装置により130万ボルトの電圧を印加して検査を行います。

高電圧ケーブルの搬入・組付け

2011.9.5

高電圧電源と電子顕微鏡本体の間は120万ボルトの高電圧用のケーブルでつながれています。ケーブルの製造工場からの搬入、および電子顕微鏡への組み付け作業の様子です。

排気系の組立・検査

2011.9.6

電子顕微鏡の内部は真空になっています。原子分解能ホログラフィ電子顕微鏡は非常に大きく、真空排気系も大がかりなものとなります。その真空排気系を組立てて動作を確認する作業の様子です。

電子顕微鏡の筐体のセンター出し

2011.12.12

電子顕微鏡は多くのレンズや絞りで構成されています。これらの部品のセンター(中心軸)が揃っていないと電子銃から放出された電子ビームが下まで降りてきません。組み立ての際にレーザーを用いてセンター出しをする作業の様子です。

2011.1.14

新超高圧電子顕微鏡棟 地鎮祭

本プロジェクトで開発中の「原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡」を設置する屋舎「新超高圧電子顕微鏡棟」の地鎮祭が2011年1月13日に行われました。
建築主は(株)日立製作所。

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